成膜加工

成膜加工を依頼した時こんな経験ありませんか？

• 「えっ、基板洗浄はしてくれないの？」
• 「1バッチ内での成膜条件は固定なの？」
• 「1バッチの枚数固定なの？1枚でも増えると2バッチ？」
• 「えっ、成膜からパターニングまで頼むとL/T2ヶ月以上も掛かるの？」

• 「ガラス基板の手配から対応してくれるところないかな？」
• 「スパッタ成膜条件含めて相談できないかな?」
• 「小ロットでフレキシブルに対応してくれるところないかな？」
• 「成膜後のケースの手配含めてお願いできないものか？」
• 「成膜後パターニング～個片カットまで一気通貫で加工できないか？」

テクノプリントのスパッタ成膜加工の特徴

• 必要に応じ成膜前基板洗浄を承ります。
• 小ロット短納期対応を検討致します。＊注1
• 加工枚数は小ロットで1枚～柔軟に対応します。
• 小ロットで膜厚変更など成膜条件を振った加工も請け負います。
• テスト成膜後ピーリングテスト結果通知しての本加工も可能です。＊注2
• 成膜からパターニング・個片カットまで一気通貫で対応致します。
• 層間絶縁膜を介しての多層膜パターニングで短納期対応が実現できます。＊注3
• 自社で対応しきれないサイズ、膜種、数量は協力会社とも連携して対応致します。

＊注1・2・3、対応できる膜種、サイズ、数量には条件がありますので詳しくはお問い合わせ下さい。

スパッタ成膜機