技術紹介
このページではテクノプリントならではの加工技術を紹介していきます。
めっき加工
めっきによる微細パターン形成
Siウエハ・ガラス基板へのめっき工法には様々なものがありますが、
テクノプリントは電解めっき工法による厚膜微細配線パターンも得意としています。
3次元実装、半導体デバイスの高集積化、微細化に適する工法です。
取り扱い基板 | ガラス |
サイズ | ７０□～２００＊３００ |
めっき材 | Ｃｕ、Ｎi、Ａｕ等 |
プロセス例
①シード層形成
スパッタリングによって電解めっきに必要となる
シード層を表面に形成します。
➁フォトリソ
基材全面にレジストを塗布し、
マスクを用いて露光・現像を行うことで、
めっき加工を行う部分のレジストを開口をします。
③めっき工程
基材外周の給電部から電気を流しながら、
開口部にめっきを成長させます（電解めっき工法）
④レジスト剥離・エッチング
めっき完了後、レジストを剥離し、
シード層をエッチングし、
最終パターンを形成します。
ガラス加工（ＴＧＶ・封止キャップ等）
ＴＧＶ（Through Glass Via）
～ガラス貫通穴加工～
用途： |
機能の異なる複数の半導体チップを１つの基板上に実装出来ます。 |
ガラス素材： | 無アルカリガラス・ホウケイ酸ガラス・テンパックス・合成石英等 |
ガラス厚み： | ０．１ｍｍ～１．０ｍｍ |
穴径： | Φ５０μｍ～ |
封止キャップ
用途：太陽電池や有機ＥＬなどに使用されています。
ガラス素材：無アルカリガラス・ホウケイ酸ガラス・テンパックス等
ガラスサイズ：３７０×４７０まで対応可
ガラス厚み：１．１ｔまで
ザグリ深さ：板厚の半分程度（要相談）
ガラス異形カット・穴開け
ガラスを異形カットすることも可能です。
ガラス自体を治具と使用する場合のカットとして有効です。
また、穴開けも可能です。（要相談）
微細メタルメッシュパターン加工
透明微細メタルメッシュフィルムのパターン加工をサポート致します。
メタルメッシュフィルムヒーター
従来のハロゲンの代替のLEDヘッド・リアライト化による着雪防止・融雪対策
ADAS及び自動運転化をにらみ自動安全ブレーキのカメラ前のフロントガラスの霜・融雪対策に
メタルメッシュフィルムアンテナ
5Gのミニ基地局対応の為ビルや車載への透明アンテナ対応
フィルム基材外形サイズ ～A4（PET/PC等）・・・＊300×300mmまで検討可
ライン 2μm～のCu配線加工
（従来の薄膜パターニングやめっきでのビルドアップ等ご相談下さい。）
＊パターンのL/Sは基材やレジスト材料の膜質・厚さ・長さ・形状にもよりますのでお問い合わせ下さい。
＊また微細メタルメッシュ加工への新規材料開発評価のお手伝いもご相談下さい。
パターン例 直線や波形も対応致します。（拡大図）
透明レジスト塗布及びパターニング
最近お問い合わせが多い透明レジスト塗布及び微細加工パターニング
仕様 | |
パターン幅 | 2μm～可能 |
膜厚 | 0.6～30μm程 |
塗布エリア | 300×300mmまで検討可能 |
用途例
・絶縁性があり且つ透明性があるので従来のＰｉに代わり基板の保護膜や層間絶縁膜に
・また感光性があるので部分的なパターニングも可能です。
・メタルメッシュフィルム加工へのフルアディティブめっき用レジスト材に。
＊加工内容はパターンの長さ・形状、基材質にもよりますのでお問い合わせ下さい。
＊今後はL/S 3μm以下にもチャレンジして参りますのでお問い合わせ下さい。
微細構造物形成
TCNでは、各種レジスト剤でμm精度の型をカスタマイズして提供致します。
パターン形状は直線・円形（筒状）可能。アスペクト比は5：1（膜厚50μm以上）可能
(3:1までの実績あり）
- 底辺が精度の良い矩形のμm単位の構造物が欲しいが何処に頼んだらいいの？
- 少量でもカスタマイズしているところはあるのか？
- 色々な高さや形のバリエーションをカスタマイズして欲しい！
アプリケーション例
接着剤・接着フィルム・充填剤（半導体PKG内等）の追従性評価
マイクロLED等のマイクロフォルダー
太陽電池等のカバーガラススペーサー
シュミレーションだけでなく実機に近い評価・検証可能。
マスクを作成して同一基板上にL字・直線・円形(円柱)等複数の形を線幅変えて分割形成可能。
アスペクト比は5：1（膜厚50μm以上）可能で高さ2～100μ可能。
＊ただし同一基板上は同じ高さ。
基板サイズは大判φ300mmを最大に使いやすい□50・100・200mm等任意のサイズにもカット可能。
基材はガラス・シリコンウエハ等可能。
空セル（薄ガラス貼り合わせ加工技術）
ガラス/ガラスタッチパネルで培った薄ガラス貼り合わせ技術で空セル等作製のお手伝いをします。
①加工内容
ガラス + ガラス貼り合わせ（段差カット可能）。ガラス + フィルム貼り合わせ（仕様要相談）
②加工サイズ
MAX 400mm x 360mmまでのガラス基板へ加工可能。薄さ上下0.2mm～対応可能。G+F:(仕様要相談)
③加工実績
ガラス + ガラス間ギャップ10～30μm（シール剤で貼り合わせ）
エレクトロクロミック・・・NIMS・早稲田・多摩美術大学共同開発案件
電気をかけることで遮光状態を変えることができるエレクトロクロミック方式の調光ガラスは、近年、飛行機の窓などに使用されています。しかし、これまでは、遮光状態をガラス全体で調整するしかなく、遮光後は窓外の景色を楽しむことはできませんでした。
今回、研究グループは、これまで研究してきたエレクトロクロミック特性を持つポリマー (有機/金属ハイブリッドポリマー) を使用して、グラデーション変化する調光ガラスを開発しました。
詳しい記事はこちら。
この製品のガラスに形成されたITO膜へのパターン開発とパターニング加工にもテクノプリントの薄膜加工技術が活かされています。
2019年12月19日放送のワールドビジネスサテライト「トレたま」でも紹介されました。
ITOヒーター加工
ITOのパターニングと外形加工､及び幅広のFPCのACF圧着加工でも製品作りに貢献しています。
原理
電極に通電すると透明導電膜にてジュール熱が発生しガラスごと熱せられ、遠赤外線がガラス面から輻射します。
直接接触による熱伝達または非接触の輻射によって対象物を加熱します
寸法
パネル形状：最小10mm x 10mm～最大370mm x 470mm。ウエハー形状：最小～最大300φ
用途
LCDの性能をフルに出す必要のある航空機や特殊車両モニター用途に！
監視カメラや視認性必要な機器の結露防止用ヒートガラスに！
マイクロ流路等観察しながら加熱したい化学分析、細胞培養実験用に！
浴室や洗面所の鏡の曇り防止に！
ITOヒーター標準サンプル品
お問い合わせの多いITOヒーターの標準サンプルを準備致しました。
外形 100×100×0.7mm 100×200×0.7mm 200×200×0.7mmの3種
抵抗値 約10Ω・45Ω・85Ω品
端子処理 Agペースト、FPC（ACF圧着）有り・無し
＊価格はお問い合わせ下さい。
＊在庫数も常に変動しますのでお問い合わせ下さい。
＊本製品は初期評価用としてお使い戴き長期信頼性はお客様の環境下でご評価下さい。
＊本サンプルをベースにカスタマイズ可能です。
